大尺寸、高良率是碳化硅单晶生长技术发展的方向，也是碳化硅功率器件制备环节中最困难的关键一环之一。国内碳化硅单晶的制备从装备到长晶工艺整体落后于国外，传统的感应法长晶设备及工艺，因其感应法径向温度梯度大，温场均匀性较难控制，导致产生晶体生长良率低、重复性差、规模化量产困难等诸多问题。因此，越来越多的业内专家认为，电阻法碳化硅生长技术或将是解决以上所有问题的关键。
苏州优晶光电科技有限公司(下简称“优晶光电”)，从2014年开始研发电阻法碳化硅生长设备及工艺，公司联合国际顶级科学家，被誉为“俄罗斯碳化硅之父”，Tairov教授及其团队，历经5年，于2019年成功研制出第一代电阻法碳化硅单晶生长设备，并成功量产。目前，优晶光电已推出第4代机型----UKING SIC RV4.0 碳化硅长晶设备（适用于6英寸、8英寸晶体），该机型有如下特点：1）该机型完美解决了感应炉温场均匀性差的技术难点，可实现径向和轴向温度梯度的精确控制，晶体内部缺陷少，良率高，重复性好 ；2）相比传统感应法长达7-14天的制备时间，UKING SIC RV4.0长晶速度快，生长时间大幅缩短，整个过程可控制在5天之内；3）由于设备自动化程度高，设备生长过程中不需要人为操作，规模化量产扩产速度远高于其他工艺方法。UKING SIC RV4.0 碳化硅长晶设备，得到国内客户的高度认可，并已实现了大批量销售。
优晶光电，成立于2010年12月，经营范围包括研发、生产、销售电阻法碳化硅长晶设备及衬底晶片。公司是中国第一家完全以电阻法碳化硅长晶为工艺路线，独家联合俄罗斯顶尖专业团队，致力于大尺寸碳化硅长晶设备及衬底晶片材料的研发、制造的专业厂商，也是国内少数几家的碳化硅材料获得海外客户验证通过的厂商之一。
2019年，优晶光电同俄罗斯相关大学、科学机构，创建了碳化硅国际联合实验室，公司借助自身技术团队和国际合作实验室的优势，不断攻克技术难点，在原料、设备、长晶、加工等各个关键环节都有突破性发展。
优晶光电在2021年完成了终端客户的材料验证工作，并当年实现碳化硅业务销售近7000余万元。公司近两年在手订单接近饱和状态，业务收入保持持续的高增长态势。优晶光电将持续加大对设备与工艺的研发，为中国碳化硅材料走向世界，推动碳化硅在行业中的诸多应用贡献力量。
UKING 国内首条6英寸、8英寸电阻法碳化硅生产线
（江苏 昆山）
来源：优晶光电返回搜狐，查看更多
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