蒸发镀膜用的“小船”到底有什么奥秘?

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蒸发舟为所有 蒸发舟为所有蒸发器皿的统称,根据使用用途的不同,其成分配方也不一样。由于其结构简单、使用方便,是使用最为广泛的一种蒸发源。常用材料有钨、钼、钽、石墨等。通常舟形蒸发源是采用钨材料制造的,现在蒸发舟亦由可导电的高性能陶瓷复合材料制成,使用的主要原材料是氮化硼和二硼化钛,蒸发面可开槽或进行激光表面刻蚀,其性能可靠,蒸发率精确且使用寿命长。

钨蒸发舟

钨舟具有高密度,高熔点,高强度,大硬度,低蒸发速度,低蒸气压,耐高温,耐磨损,耐腐蚀以及良好的导电导热性能等特点。

广泛用于镀金、蒸发器、显像管制镜、加热容器、电子束喷漆、家用电器、消费电子、半导体及各种装饰品等真空镀膜行业或真空退火产业中。

钼蒸发舟

钼是一种特别稳定的金属,适用于高温环境。掺杂氧化镧(钼镧)以后,钼的延展性和耐腐蚀性进一步增强。其实就是一种耐高温的器皿,在真空炉、玻璃熔炉都会用到的,相对于钼坩埚结构简单、成本低。

主要用于涂层技术、电子工业、电力工程、电容器烧结、核燃料烧结、热电偶外壳等。

钽蒸发舟

钽的蒸气压非常低,蒸发速度较慢,具有熔点高、强度大、寿命长、耐高温性、耐腐蚀性高等优点,用于制作真空高炉用发热部件、隔热部件和装料器皿。

在化学工业中可用于制作蒸煮器、加热器、冷却器、各种器皿器件等,以及在航空、航天工业、医疗器械等领域有广泛应用。

蒸发舟的使用方法

1、两排夹具要保持对准,表面要保持光洁;

2、端面或侧面要使用石墨纸保证良好的电接触和热传导;

3、在新舟首次加热时,在凹槽中央放一截铝丝,以方便准确判定蒸发舟的温度(注意:使用无槽的三角舟时,不可使用本方法);

4、铝丝的接触点应该位于舟长的1/3至一半处;

5、新舟首次加热不可太快,以免影响放气;

6、新舟首次使用,送铝速度应由正常的75%左右开始逐渐增加,并逐步调低功率,以达到较大液铝铺展面积。

蒸发器皿的统称,根据使用用途的不同,其成分配方也不一样。由于其结构简单、使用方便,是使用最为广泛的一种蒸发源。常用材料有钨、钼、钽、石墨等。通常舟形蒸发源是采用钨材料制造的,现在蒸发舟亦由可导电的高性能陶瓷复合材料制成,使用的主要原材料是氮化硼和二硼化钛,蒸发面可开槽或进行激光表面刻蚀,其性能可靠,蒸发率精确且使用寿命长。 返回搜狐,查看更多

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