中国半导体行业年增长3成

　　人民网上海1月10日电（记者沈文敏）过去5年，中国半导体行业年均增长约达30％，由此对高纯度气体的需求也随之加快。全球领先的气体和工程公司——林德集团，近日与中国半导体厂商扩大合作，与中国新成立的晶圆厂签署了多种多年期的高纯度气体供应协议。

　　林德在中国开展了一系列大型投资项目，支持中国半导体制造行业的发展。林德是成都、上海、苏州多家晶圆厂的合同供应商，近期又与大连某大型集成电路制造商投资兴建的300毫米晶圆厂签署了多年的高纯度的大宗气体供应协议。

　　大连项目将于2009年初投产，预计将成为当地首批半导体工厂之一。林德将应用其独特的Spectra技术，建设一所集超高纯度氮气与氧气为一体的工厂，并配备氢气发生器以及氩气和氦气供应系统。此外，林德还将在工厂中安装具有纯化、过滤和质保功能的设施。