本报讯(记者傅洋)国庆和中秋喜庆的日子里，全球知名的集成电路代工厂——中芯国际公司与北方微电子公司、中科信公司分别签订了刻蚀机和离子注入机的批量采购合同。这是我国产主流集成电路核心设备产品第一次实现销售，标志着北京承担的国家十五863计划集成电路制造装备重大专项——100纳米高密度等离子刻蚀机与大角度离子注入机初步实现了产业化。

　　每个家庭都有上百芯片

　　据统计，每个家庭大概有100个左右的芯片在支持着日常生活，电视、冰箱、电脑、手机、汽车甚至抽油烟机都需要芯片，而家电价格的1/3是由芯片决定的。这两种设备的研制成功，使我国高端集成电路核心设备技术水平和国际上缩短了至少5年距离，有助于扭转我国集成电路制造装备受制于人的局面，对进一步提升我国集成电路制造装备的自主创新能力和核心竞争力具有重要的战略意义。

　　自主创新诞生科技成果

　　西方发达国家掌握了集成电路设备技术的制高点，同时对我国实施技术封锁和禁运。针对这一情况，2001年4月，国务院批准科技部将超大规模集成电路制造装备列为重点研究内容。2002年11月，科技部同意北京市政府启动“100纳米高密度等离子刻蚀机与大角度离子注入机”项目。

　　在原北京市经委的积极组织协调下，北京电子控股公司联合中科院、清华大学、北京大学、七星集团等股东组建北方微电子公司，承担等离子刻蚀机的研发任务。中国电子科技集团联合48所、45所组建北京中科信电子装备公司，承担离子注入机的研发任务。3年来两台机器不仅全面完成了科技部要求的研发总体目标，还实现了产业化。2006年9月中芯国际已正式签约决定采购一批刻蚀机和离子注入机。J004