沈阳发展IC装备产业应突出重点

　　曲道奎

　　IC装备产业作为高科技制高点和经济增长最佳点，是我国的先导性和战略性产业，国家从“十五”计划开始确定为重点发展产业。沈阳发展IC装备产业面临着重要机遇，今后发展的重点应放在以机器人自动化设备、匀胶显影设备、真空泵和真空阀等为代表的共性关键技术和设备方面。

　　我国IC装备产业的发展与国外差距较大，几乎完全依赖进口，更为严重的是，国外对我国实施技术封锁，对出口中国的关键设备和成套工艺设立了严格的许可限制和飞行检查，从战略上遏制我国IC装备产业的发展。因此，加快发展具有自主知识产权的IC装备产业，从根本上改变IC装备制造业发展的落后局面，提升IC装备产业技术发展水平，是我国发展IC产业的当务之急。作为老工业基地的沈阳，大力发展IC装备产业有利于国家实施东北振兴的战略，有利于承接IC装备产业向中国的转移，有利于提升产业结构、拉动区域经济。目前，世界IC及IC装备产业向中国转移，国家在“十五”和“十一五”投入巨资支持，同时沈阳已具备发展IC装备的基础。

　　沈阳发展IC装备产业必须突出自己的优势产业，做到有所为有所不为，避免与上海和北京直接竞争，细分产业和市场，做出自己的特色，形成差异化竞争优势；同时制定切实可行的发展策略，高起点、高投入，实现跨越式发展。另外，政府应发挥重要作用，负责组织、协调、推进，在产业政策和资金上择优支持，促进快速发展。具体建议和措施如下：

　　沈阳发展IC装备的重点。IC装备主要分为三大类：一类是以光刻设备、刻蚀设备及离子注入设备等为代表的主机设备，另一类是以机器人自动化设备、匀胶显影设备、真空泵和真空阀等为代表的共性关键技术和设备，第三类则为各种测试和计量设备。第一类设备已经完全被国外几家公司垄断，并且国家在“十五”期间已分别在上海和北京布局。第三类设备也已被国外公司垄断，并且产业空间有限。只有第二类设备既是共性关键核心部件，又有很好的产业发展空间，沈阳的相关企业已具备了发展这类设备的基础。因此，沈阳应重点发展第二类产品，主要是：1．机器人自动化设备：真空机器人、洁净机器人、SMIF系统、传输设备、预对准系统、控制系统等。2．晶片处理系统：匀胶显影机（Track机）、晶片清洗机等。3．成膜设备：CVD、PECVD、磁控溅射、电子束沉积、激光溅射、热蒸发、MBE等。4．关键零部件，包括罗茨干泵、分子泵、低温泵、真空阀门等。5．精密加工及公共服务平台等。

　　（作者为市政协常委、沈阳新松机器人自动化股份有限公司总裁）