——记沈阳芯源微电子设备有限公司专职技术顾问塚本功
日本专家塚本功在半导体设备开发领域经验丰富，2008年出任沈阳芯源微电子设备有限公司专职技术顾问以来，在集成电路专用设备制造行业作出了突出贡献，获2009年“沈阳玫瑰奖”。
任职期间，他带领海外研发团队，致力于技术引进、技术攻关，指导开发出了具有国内领先水平的新产品。他带来先进检测设备，指导解决了清洗机旋转仓的震动问题等技术难题，并指导公司成功研发出了具有国内领先技术水平的应用于太阳能电池生产的专用清洗甩干设备。在他的指导下，公司产品在技术水平提升的同时，成本降低了近15%。
作为承担国家重大科技专项引进海外研发团队的核心专家，他指导解决了设备总体结构设计、翘曲变形的晶片和载玻片的传输技术等关键技术，带动集成电路专用设备制造行业发展。本报记者孙明鑫
来源：沈阳日报
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