中国首台薄膜太阳能电池关键生产设备下线

　　高端设备新突破——中国首台薄膜太阳能电池关键生产设备下线

　　新华网上海1月8日电（记者 叶锋 陆文军）中国首台代表国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备——等离子体增强型化学气相沉积设备（PECVD），8日在上海理想能源设备公司（下文简称“理想能源”）成功下线，这被视为中国在新能源高端装备领域取得的新突破。

　　据介绍，“中国造”的PECVD性能领先于国外同类产品，但价格大幅低于后者。中国工业和信息化部装备工业司副司长李东表示，高端薄膜太阳能电池关键生产设备的研制成功，为中国新能源产业下一步的发展奠定了坚实基础。

　　以往，晶体硅太阳能电池占据主流地位。不过，被视为“第二代技术”的硅基薄膜太阳电池技术近年来“异军突起”。这类电池是在玻璃、金属或塑料等基板上沉积很薄的光电材料而制成，它在弱光条件下仍可发电，既可应用于大规模光伏电站，也可制成柔性及半透明电池、实现真正的光伏建筑一体化应用。此外，该电池可大幅降低生产过程的能耗，具备显著降低原料和制造成本的潜力。

　　不过，薄膜太阳能电池生产设备复杂昂贵，尤其是关键设备PECVD，更是高达上千万美元，长期以来一直被欧洲、美国和日本的企业垄断。一直以来，中国企业的此类设备全需进口。生产设备制造成本之高，占到薄膜太阳能电池发电成本的七成左右，这导致光伏上网价格比传统电价高出15％甚至更多，其产业化瓶颈十分明显。

　　在上海市政府、浦东新区政府等各方支持下，一年多里，理想能源相继完成了PECVD首台机的研发、中试、下线，并申请了10多项核心技术专利。理想能源事业发展部执行总监曹炼生介绍，首台机采用了创新的超高频射频技术，精密的真空和温度控制技术，快速的自动传输技术以及多腔多片的反应腔系统等，大大提高了产能，其产品性能优于国际一流设备，但价格远低于同等的进口设备，“将打通中国薄膜太阳能电池产业化的关键环节”。